1.口径：1mm

　　2.精度：1.5级

　　3.多种输出方式

　　4.直接测量气体质量流量

　　5.流量范围：0.01~2slpm

　　6.精度高、压损小、响应时间快

　　7.适用领域：采样、分析仪器，色谱仪，洁净气体监控、泄露侦测、hvac控制等>微流量传感器特点

　　1.无漂移，无滞后

　　2.可精确测量极小流量

　　3.经过完全校准和温度补偿

　　4.低功耗（使用脉冲激发电流）

　　5.最新一代MEMS传感器芯片技术

　　6.精度高，响应速度快，重复性好

　　7.线性或开方特性输出；模拟或数字输出>微流量传感器应用

　　1.便携式仪器

　　2.空气和环境保护

　　3.工业过程控制：燃烧器控制

　　4.医用设备：呼吸仪、肺活量仪、麻醉控制仪、氧气控制等

　　5.暖通空调：变风量系统（VAV）、过滤器监控、风扇通风控制等

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