“超精密机床的研发和制造技术是一项前沿性的技术，将引领机床的加工精度不断向着人类未曾涉及的技术领域深入迈进。”北京机床研究所所长刘炳业在近日召开的2014中国机床工具发展高端论坛上指出，“超精密机床是发达国家非常重视并且采取措施加以控制的机床，且它体现着一个国家精度技术的竞争力。”

　　刘炳业强调，在过去的30年里，世界范围的机床技术得到了很大程度的发展，机床技术的发展趋势也呈现出多元化的特点，但高精度是数控机床的主流发展趋势，并且超精密加工的精度比精密加工精度还要高出一个数量级。

　　事实上，超精密加工技术所涉及的技术领域非常丰富。在北京机床研究所30多年的研究历程中，针对超精密加工技术所涉及到的相关技术，刘炳业系统地总结出了36个方面的关键前沿研究以及11项领先的核心技术。其中，关键前沿研究包括设计、运动部件、测量分析、工艺技术、主机制造技术和机床应用条件技术六方面内容。领先的核心技术涵盖：精密超精密主轴关键结构制造技术、精密超精密直线运动部件关键结构制造技术、高分辨率运动驱动技术、机床关键零部件的加工工艺制造技术、部件抵御外部干扰的特性技术、高稳定性快速直线运动的结构与制造技术、多运动轴机床的嵌套结构设计技术，以及针对目标零件制造的机床集成制造技术等内容。

　　“在机床的精度从微米级到纳米级的发展历程中，有三项关键技术无法回避，这三项技术也是纳米精度机床的研究门槛。”刘炳业分析称，其中一项技术是无迟滞的轴承技术，迟滞现象在机械系统中大量存在，迟滞现象不仅严重影响机床溜板的运动定位精度和重复定位的精度，也影响运动的高分辨率实现，同时也影响精密零件的加工形状精度以及表面粗糙度。而静压轴承技术可以很好地解决机械迟滞的现象，并且可以均化几何误差，在超精密机床中得到大量应用。静压技术在过去的十年时间里取得了重大进展，自补偿的反馈技术更为成熟。以流量控制的节流技术使静压轴承的刚度得到很大程度的提升，使超精密机床加工的材料硬度不断提高。

　　而另二项关键技术分别是高分辨率驱动技术和机械系统中的微振动处理技术。纳米级分辨率是近十几年来超精密机床性能的特征体现，运动的影响因素很多。同时，大量的实验研究发现，10纳米量级的振动信号存在于许多机械执行机构中，对于机械灵敏度的执行与测定造成干扰，这种振动被称为微振动。“对微振动的机理深入研究，并寻求解决途径是超精密机床通往纳米精度的必经之路。”刘炳业说道。

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